 |
|
 |
|
[Á¦Ç°°ü·Ã] ÇÇ¿¡Á¶ (Piezo) Çö»óÀ̶õ? (Aqua M100D µî¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ¿ø¸®) |
2006-10-23 |
|
ÀÛ¼ºÀÚ : admin
|
-Á¶È¸ : 34754 |
|
Æ®·¢¹é ÁÖ¼Ò : http://www.bowoo.kr/www/bbs/tb.php/bbs_02/39
|  |
|
ÇÇ¿¡Á¶ Çö»ó (Piezoelectricity)
1. ÀǹÌ
ƯÁ¤ ¹°Áú(°íü)¿¡ mechanicalÇÑ ¾Ð·Â(Á¤È®È÷´Â strain)À» ÁÖ¸é electrical polarizationÀÌ ÀϾ´Â µ¥, ÀÌ·¯ÇÑ ¹°ÁúÀ» piezoelectrics¶ó ÇÏ°í ±×·¯ÇÑ Çö»óÀ» piezoelectricity¶ó ÇÑ´Ù. ƯÈ÷, ÀÌ·¯ÇÑ ÀÛ¿ëÀº reversibleÇÏ´Ù. Áï, ¹°ÁúÀÇ ¾çÂÊ¿¡ Àü¾ÐÀ» °É¾îÁÖ¸é ¸ð¾çÀÌ º¯ÇÑ´Ù.
2. ¿ø¸®
1) crystal±¸Á¶·Î ÀÎÇÑ ferroelectricity
¹°ÁúÀÇ magnetic property¿¡¼ ferromagnetic ¹°ÁúÀÌ ÀÖ´Â °Íó·³, electric property¿¡µµ ferroelectric ¹°ÁúÀÌ ÀÖ´Ù. À̰ÍÀº °ÇÑ ¿ÜºÎ Àü±âÀåÀ» °¡ÇÑ °æ¿ì¿¡ polarization µÇ¾ú´Ù°¡ ¿ÜºÎ Àü±âÀåÀ» ¾ø¾Öµµ polarizationÀÌ ±×´ë·Î À¯ÁöµÇ´Â ¼ºÁúÀÌ´Ù. Áï, crystal±¸Á¶ÀÇ Æ¯À̼º ¶§¹®¿¡ ±× ÀÚü·Î polarizationµÈ »óŸ¦ À¯ÁöÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ferroelectric¹°ÁúÀº piezoelectric¹°ÁúÀ̱⵵ ÇÏ´Ù. ±× ÀÌÀ¯´Â mechanicalÇÑ ¾Ð·Â¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¹°ÁúÀÇ geometry°¡ º¯ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡ electric polarizationÀÌ º¯Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î, ¾ÐÃàµÇ´Â °æ¿ì¿¡´Â ´ÜÀ§ ºÎÇÇ ´ç ºÐÀÚ(dipole moment¸¦ °®´Â)ÀÇ °³¼ö°¡ ´Ã¾î³ª¹Ç·Î polarizationÀÌ Áõ°¡ÇÑ´Ù.
 | | Pm : ºÐÀÚ ÇϳªÀÇ dipole moment, ¥Äv:macroscopicÇÑ ÀÛÀº ºÎÇÇ | ¿¹: barium titanate, PZT(Lead Zirconium Titanate), ADP(Ammonium Dihydrogen Phosphate) µî
2) crystal ±¸Á¶ÀÇ ´ëμºÀÌ ¾ø¾îÁö´Â °æ¿ì
ferroelectric¹°ÁúÀÌ ¾Æ´Ï´õ¶óµµ ¾Ð·ÂÀ» °¡Çϸé polarizeµÇ´Â ¹°ÁúÀÌ ÀÖ´Ù. ÃÖÃÊ¿¡ ¹ß°ßµÇ¾ú°í, ÀÚ¿¬ÀûÀ¸·Î Á¸ÀçÇÏ´Â piezoelectric¹°ÁúÀÎ Quartz(SiO2)°¡ ÀÌ·± °æ¿ìÀÌ´Ù. º¸Åë »óÅÂÀÇ °áÁ¤ ±¸Á¶´Â ´ëĪÀûÀÌ¾î¼ electrically neutralÇÏÁö¸¸ ¾Ð·ÂÀÌ °¡ÇØÁö¸é °áÁ¤ ±¸Á¶ÀÇ ¸ð¾çÀÌ ¹Ù²î°í dipole moment°¡ »ý±â°í µû¶ó¼ polarizationÀÌ »ý±ä´Ù. ¾Æ·¡´Â 2Â÷¿øÀÇ 3°³ÀÇ ´ëĪÃàÀ» °¡Áø °áÁ¤ ±¸Á¶ÀÇ ¿¹ÀÌ´Ù. ÇÏ¾á ¿øÀÌ (+)ÀÌ¿Â, ±î¸¸ ¿øÀÌ (-)ÀÌ¿ÂÀÌ´Ù.
3. ´Ü¼øÇÑ ¼±Çü 1Â÷¿ø ¸ðµ¨
¹°¸®·®
P:polarization, Z:stress, E:electric field, e: elastric strain
»ó¼ö
¥ö:susceptibility, d:piezoelectric strain constant, s:elastic compliance constant
¿ÞÂÊ ½ÄÀº mechanical energy -> electric energyÀÇ º¯È¯¿¡ °üÇÑ °ÍÀ̰í, ¿À¸¥ÂÊ ½ÄÀº ±× ¹Ý´ëÀÇ °æ¿ìÀÌ´Ù. ÀÌ ½ÄÀ» ÀϹÝÀûÀÎ 3Â÷¿øÀ¸·Î È®ÀåÇÏ¸é °¢ ¾çµéÀº Vector°¡ µÇ°í »ó¼öµéÀº tensor°¡ µÈ´Ù. ±×¸®°í ºñ¼±ÇüÇ×ÀÌ µé¾î°¡¸é 2Â÷, 3Â÷, .... ÀÇ °íÂ÷Ç×ÀÌ Ãß°¡µÈ´Ù.
ÀÌ ¿Ü¿¡µµ, ¿¡³ÊÁöÀÇ È¿À²¼ºÀ» ³ªÅ¸³»´Â coupling coefficient°¡ ÀÖ´Ù.
 (¿ÞÂÊ:detector, ¿À¸¥ÂÊ:generator) ÁÁÀº generator(transmitter)ÀÇ °æ¿ì: ³·Àº d, ³ôÀº s°¡ ÀûÇÕ. ÁÁÀº detector(receiver)ÀÇ °æ¿ì: ³ôÀº d, ³·Àº s°¡ ÀûÇÕ.
ÇöÀç piezoelectric ¹°ÁúÀÌ ¾ÆÁÖ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡ ³Î¸® »ç¿ëµÇ°í ÀÖÁö¸¸ ½ÇÇè¿¡ Àß ºÎÇÕÇÏ´Â ¸ðµ¨ ¹× ±× ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ¹æ¹ý¿¡ °üÇÑ ÀÌ·ÐÀº ¾ÆÁ÷ ºÎÁ·ÇÏ´Ù°í ÇÑ´Ù.
4. ÇѰè
1) Curie ¿Âµµ
ÀÚ¼®°ú ¸¶Âù°¡Áö·Î ferroelectricƯ¼º¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´Â piezoelectric ¹°ÁúÀº Curie ¿Âµµ(Tc)°¡ ÀÖ´Ù. Áï, TcÀÌ»óÀÇ ¿Âµµ¿¡ ´ÞÇÏ¸é ¿-Áøµ¿¿¡³ÊÁö ¶§¹®¿¡ polarizationÀÌ ¾ø¾îÁö±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Çö»óÀº reversibleÇѵ¥, ¿Âµµ¸¦ Tc ¾Æ·¡·Î ³·Ãß¸é ¿ø·¡´ë·Î µ¹¾Æ°£´Ù.
2) µÎ²²
ÀÌ·ÐÀûÀ¸·Î piezoelectric¹°ÁúÀ» fundamental resonance Á֯ļöº¸´Ù ´õ ³ôÀº orderÀÇ Á֯ļö·Î Áøµ¿½ÃŰ´Â °Ô °¡´ÉÇÏ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ³ôÀº orderÀÇ Á֯ļö´Â È¿À²ÀÌ Àû±â ¶§¹®¿¡ ƯÁ¤ ºÐ¾ß¿¡ ÀûÇÕÇÑ order¿¡ ÇѰè ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ fundamental resonanceÁ֯ļö¸¦ ³ô¿©¾ß Çϴµ¥, ±×¸¦ À§Çؼ± wafer(¿þÇϽº °úÀÚ ¸ð¾ç)¸¦ ¾ã°Ô ¸¸µé¾î¾ß ÇÑ´Ù. ¹Ù·Î ¿©±â¿¡ ÇѰ谡 ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, ¾î¶² ¹æ¹ýÀ¸·Î wafer¸¦ ¾ã°Ô ¸¸µé¾ú´Ù ÇÏ´õ¶óµµ µÎ²²°¡ ¾ã¾ÆÁö¸é °É¾î ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ÃÖ´ë voltage°¡(electrical breakdownÀÌ ÀϾ´Â ÇѰè)°¡ ÀÛ¾ÆÁö±â ¶§¹®¿¡ ¿©±â¿¡µµ ÇѰ谡 ÀÖ´Ù.
5. ÀÀ¿ëºÐ¾ß
1) Crystal oscillator¿ë ¼ÒÀÚ
ÃÖÃÊ·Î ÀÀ¿ëµÈ piezoelectric¹°ÁúÀÎ Quartz¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ºÐ¾ßÀÌ´Ù. oscillator´Â À¯ÀÏÇÑ ÀÔ·ÂÀÎ Á÷·ù Àü¿øÀ¸·ÎºÎÅÍ Áøµ¿ÇÏ´Â ÆÄÇüÀ» ¸¸µå´Â ȸ·ÎÀÌ´Ù. À̰ÍÀº ¹«¼±Åë½Å°ú Digital ȸ·ÎÀÇ Å¬¶ô ¹ß»ý±â¿¡ ÇÙ½ÉÀÎ ºÎǰÀÌ´Ù. ¹«¼±Åë½Å¿¡¼´Â ¶óµð¿À ¼Û, ¼ö½Å±â¿¡ µé¾î°£´Ù. equivalentÇÑ È¸·Î´Â ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
 | | *resonance: À§ÂÊ °¡ÁöÀÇ series R,L,C¿¡ ÀÇÇÑ °Í, Ls¿Í CmÀÇ ¸®¾×ÅϽº°¡ °°Àº °æ¿ìÀÇ µÎ°¡Áö. | oscillatorȸ·Î´Â À§ÀÇ Quartz¼ÒÀÚ¸¦ resonant tankȸ·Î·Î »ç¿ëÇϴµ¥, ±× ¿ø¸®´Â positive feedbackÀÌ´Ù. Áï, ÃÖÃÊÀÇ white noise¶óµç°¡ ȸ·Î¿¡ ¿¬°áµÈ ´Ù¸¥ ºÎºÐ¿¡¼ ÀüÆÄµÇ´Â ¾ÆÁÖ ¹Ì¾àÇÑ Áøµ¿ÀÌ feedbackµÇ¸é¼ ÁõÆøµÇ°í À̰ÍÀÌ ¿øÇÏ´Â Á֯ļöÀÇ Æ¯Á¤ ÆÄÇü(¿¹: »çÀÎÆÄ)ÀÇ ½ÅÈ£·Î ¹Ù²î´Â °ÍÀÌ´Ù. Chaos¿ë¾î·Î ¸»Çϸé ÁÖ±âÀûÀÎ attracter¶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
2) ÃÊÀ½ÆÄ »ý¼º, ÃÊÀ½ÆÄ ŽÁö
À½ÆÄ¸¦ Àü´ÞÇÏ´Â ÀûÀýÇÑ ¸ÅÁú°ú piezoelectric¹°ÁúÀ» coupling ½ÃÄѼ ÃÊÀ½ÆÄ¸¦ ¸¸µé ¼öµµ ÀÖ°í ŽÁöÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¼ÒÀÚ¸¦ tranducer¶ó°í Çϴµ¥, ÇöÀç °¡Àå ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ´Â Àç·á´Â lead, zirconate, titanate, PZT¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ´Â polycrystalline(¼¼¶ó¹Í)¹°ÁúÀÌ´Ù. À̰ÍÀº Àΰø ÇÕ¼ºÀç·á·Î½á ÀÚ¿¬»êÀÎ Quartz¿¡ ºñÇØ¼ È¿À²ÀÌ ³ô´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ tranducer´Â ¾Æ·¡ÀÇ 3)-5)ÀÇ ºÐ¾ß¿¡¼ ±âº»ÀûÀÎ unitÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
3) SONA
SONA´Â ÆÞ½º¸¦ ½î¾Æ¼ ƯÁ¤ target¿¡ ¹Ý»çµÈ À½ÆÄ¸¦ ¼ö½ÅÇÏ¿© delayŸÀÓÀ» ±¸ÇÑ µÚ¿¡ target°úÀÇ °Å¸®¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ ºÐ¾ß´Â ¹Ì ÇØ±º¿¡ ÀÇÇØ¼ ÁýÁßÀûÀ¸·Î ¹ß´ÞÇߴµ¥, ÃÊÀ½ÆÄ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ SONA´Â Àû ÇÔÀ̳ª Àá¼öÇÔÀÇ À§Ä¡ ÆÄ¾Ç, ¾î·ÚÀÇ targeting, ¾Æ±ºÇÔÀÇ navigation¿¡ À¯¿ëÇÑ ±â¼úÀ̱⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¹ÚÁã¿Í µ¹°í·¡´Â ÀÌ·± ±â¼úÀ» ÀÚ¿¬ÀûÀ¸·Î Å͵æÇÏ¿© »ý°è ¹ØÃµÀ¸·Î »ç¿ëÇÏ´Â µ¿¹°ÀÌ´Ù.
4) Çö¹Ì°æ(scanning microscope)
ÈçÈ÷ nondestructive test(ºñÆÄ±«°Ë»ç)¶ó°í ºÎ¸£´Â ºÐ¾ßÀÌ´Ù. °¢Á¾ Àåºñ ³»ºÎÀÇ ±Õ¿À» X¼± »çÁø ÂïµíÀÌ º¼ ¼ö ÀÖ´Ù(ƯÈ÷ Ç×°ø±â ±âü °Ë»ç). ƯÈ÷, ÀÇ·á¿ëÀ¸·Î´Â ÀÓ»êºÎÀÇ Àڱà ³»¿¡ ÅÂ¾Æ ¸ð½ÀÀ» °üÂûÇϰųª È£Èí±â°ü ¿òÁ÷ÀÓÀ» °üÂûÇÏ´Â µ¥¿¡ ¾²ÀδÙ.
ÀÌ·± scopeºÐ¾ß¿¡¼´Â À½ÆÄÀÇ diffraction effect°¡ Áß¿äÇÏ´Ù. ÇöÀç ÁÖ·Î ¾²ÀÌ´Â ¼¼¶ó¹Í piezoelectric tranducer´Â Å©±â°¡ 2mm-4cmÁ¤µµÀ̰í, ÀÌ·¯ÇÑ ÀÛÀº ¸éÀû¿¡¼ ³ª¿À´Â ÆÄ´Â ȸÀý Çö»óÀÌ Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. generatorÀÇ °æ¿ì´Â ³ôÀº Á֯ļö, tranducerÀÇ Å« ¸éÀû¿¡ ºÎÇÕÇÒ ¼ö·Ï ȸÀý È¿°ú°¡ Àû°í, detectorÀÇ °æ¿ìµµ ¸¶Âù°¡ÁöÀÌÁö¸¸, detectorÀÇ ¸éÀûÀÌ À۾ƾßÁö¸¸ sample Ç¥¸éÀ» ³ôÀº resolutionÀ¸·Î ½ºÄµÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
5) cleaner
À̰ÍÀº ÃÊÀ½ÆÄ¸¦ ÀÛÀº ¸éÀû¿¡ ÁýÁß½ÃÄѼ ¸ÅÁúÀ» ³ôÀº ÆÄ¿ö·Î Áøµ¿½ÃŰ´Â ÀåÄ¡ÀÌ´Ù. °¢Á¾ ºÐ¾ß¿¡¼ ƯÁ¤ ÀåÄ¡ÀÇ ±â¸§±â³ª ¸ÕÁö¸¦ Á¦°ÅÇϴµ¥ »ç¿ëµÈ´Ù. ƯÈ÷, dental ¾÷°è¿¡¼´Â ÀÌ»¡ Ç¥¸éÀÇ ¶§¸¦ ¾ø¾Ö´Âµ¥ ¾²°í(scaling), ´Ù¸¥ ÀÇ·á ºÐ¾ß¿¡¼´Â ·¹ÀÌÀú¿Í ºñ½ÁÇÏ°Ô Æ¯Á¤ Á¶Á÷À» Á¦°ÅÇÏ´Â °÷¿¡ ¾²ÀδÙ.
|
|
|
|
|  | |
|
| |
|
|
|
|
|
|
 |
¿ì¸®´Â Ç×»ó "Èñ¸Á"°ú "°¡´É¼º"¸¸À» À̾߱âÇÕ´Ï´Ù. |
|
 |
 |